Método de teste SEMI F101 para determinar o desempenho do regulador de pressão em sistemas de distribuição de gás

Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F101 define um método de teste para testar reguladores de pressão considerados para instalação em sistemas de gás. A aplicação deste método de teste deve fornecer dados comparáveis ​​entre os reguladores testados para fins de qualificação. Este padrão fornece um método de teste para determinar as características de desempenho do regulador.

Este método de teste se aplica a reguladores de pressão. Os métodos de teste que medem essas propriedades devem ser realizados na seguinte ordem:

• Número de partícula
• vazamento
• creep / crash
• Efeito da pressão de alimentação
• resolução
• Curva de fluxo, curva de histerese e pressão versus valor de histerese operacional
• repetibilidade
• Ajustando a estabilidade de pressão
• resposta transitória da função degrau
• ressonância
• coeficiente de fluxo
• Sobrepressão
• força

Resumindo, este método de teste fornece uma base comum para a comunicação entre fabricantes e usuários.

Os fabricantes projetam seus sistemas de distribuição de gás com base nas melhores práticas e criam muitas configurações para atender às necessidades. Os sistemas de distribuição de gás configuráveis ​​e em conformidade com os padrões são projetados para ajudar a proteger os operadores do sistema, aumentar o tempo de atividade do processo e melhorar a precisão e a repetibilidade do processo. Segurança e funcionalidade são os fatores mais importantes neste processo. Os sistemas incluem um ou um conjunto de reguladores de pressão para fornecer gases de uma fonte de alta pressão de forma eficaz para o resto da instalação na pressão e taxa de fluxo exigidas por cada aplicação. Neste ponto, é importante determinar o desempenho do regulador de pressão. Para usuários comerciais e industriais, a pressão estável é essencial para que as operações não sejam comprometidas.

Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:

• Especificação de integridade de vazamento SEMI F1 de sistemas e componentes de tubulação de gás de alta pureza
• Método de teste SEMI F32 para determinar o coeficiente de fluxo em válvulas de corte de alta pureza

Entre os inúmeros testes, medições, análises e avaliações que nossa organização oferece para empresas de diversos setores, também disponibilizamos serviços de teste para determinar o desempenho de reguladores de pressão em sistemas de distribuição de gás, de acordo com a norma SEMI F101, graças à nossa equipe treinada e especializada e aos nossos equipamentos tecnológicos avançados.