Desenvolvido sob um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F69 é um padrão tecnicamente aprovado pelo Gases Global Technical Committee. Esta norma fornece métodos de teste a serem aplicados para caracterizar a integridade mecânica de sistemas de distribuição de gás por meio de testes de vibração e choque. Os métodos de teste recomendados aqui incluem vibração (simulação de transporte) e teste de choque de sistemas de distribuição de gás (incluindo montagem convencional e de superfície) para processamento de semicondutores.
Os métodos de teste definidos na norma SEMI F69 aplicam-se aos sistemas de distribuição de gás que não são embalados para envio. Especificamente, os métodos de teste se aplicam a componentes de distribuição de gás montados e interconectados e seu painel de montagem associado, com ou sem uma blindagem de chapa metálica.
Para o propósito desta norma, espera-se que a vibração de transporte e a simulação sejam mais altas do que o normal nos níveis de vibração em uso. Portanto, o teste de simulação de transporte é considerado aceitável para avaliar a integridade mecânica adequada para o transporte e o estresse de vibração do ciclo de vida dos sistemas de distribuição de gás.
O objetivo do teste de choque é fornecer uma avaliação mais detalhada das falhas do equipamento resultantes de choques durante a desembalagem, instalação ou uso em campo.
Representa uma integridade mecânica recomendada para técnicas de arquitetura, projeto e montagem de sistemas de distribuição de gás, se os testes recomendados nesta norma forem concluídos com sucesso.
Quando os gases são usados em volumes significativos, um sistema de distribuição de gás centralizado é uma necessidade prática. Um sistema de distribuição bem projetado reduz os custos operacionais, aumenta a produtividade e aumenta a segurança. Um sistema central permite a consolidação de todos os cilindros em um local de armazenamento. Nesta aplicação, os gases são separados de acordo com seus tipos para aumentar a segurança.
Ao preparar este padrão, o seguinte padrão SEMI foi tomado como referência:
Entre os numerosos estudos de teste, medição, análise e avaliação que fornece para negócios em vários setores, nossa organização também fornece serviços de teste para a transmissão e teste de choque de sistemas de distribuição de gás no âmbito da norma SEMI F69, com sua equipe treinada e especializada e equipamento tecnológico avançado.
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