Método de teste SEMI F104 para avaliação da mistura de partículas de componentes usados em sistemas de distribuição de água ultrapura e produtos químicos líquidos

Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F104 descreve os requisitos e apresenta métodos de teste para avaliar e comparar componentes no fluxo líquido de água ultrapura em termos de contribuição de partículas. Este padrão define dois métodos de teste para avaliar a contribuição das partículas: o método de teste de enxágue e o método de teste dinâmico.

O método de teste de enxágue avalia o desempenho no modo de lavagem quando o componente está em um estado estático, ou seja, não há nenhum componente em movimento ativo no componente em teste. Com este método de teste, uma indicação do volume de lavagem necessário para trazer os níveis de partícula para a especificação é obtida.
No método de teste dinâmico, o desempenho é avaliado durante a operação do componente e uma indicação da contribuição da partícula em estado estacionário devido às condições dinâmicas de operação é obtida.

Ambos os métodos de teste são aplicados a componentes de sistemas de produtos químicos líquidos e de água ultrapura destinados ao uso em ferramentas de fabricação de semicondutores e equipamentos auxiliares.

Os métodos de teste descritos neste padrão são testes para medir a contribuição de partículas de componentes ao usar água ultrapura como meio de teste. Para os fins desta norma, a água ultrapura deve atender aos requisitos mínimos descritos na norma. Ao aplicar esses métodos de teste, um instrumento de medição de partículas ópticas líquidas é usado para medir o desempenho. Este dispositivo é comumente usado como um contador de partículas para detectar e monitorar a contaminação por partículas em certos ambientes limpos, incluindo ar, água e produtos químicos. Os contadores de partículas são usados em tecnologias industriais, como componentes eletrônicos e conjuntos, produtos farmacêuticos e dispositivos médicos, e óleo e gás para apoiar práticas de produção mais limpas.

Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:

SEMI E49 Guia de desempenho de tubulação de alta e ultra-alta pureza para subconjuntos e conjuntos finais
Especificação SEMI F57 para componentes de polímero usados em sistemas de entrega de água ultrapura e produtos químicos líquidos

Entre os inúmeros testes, medições, análises e avaliações que nossa organização oferece para empresas de diversos setores, também disponibilizamos serviços de teste para avaliação do teor de partículas em componentes utilizados em sistemas de dispensação de água ultrapura e produtos químicos líquidos, de acordo com a norma SEMI F104, utilizando uma equipe treinada e especializada e equipamentos tecnológicos avançados.