Método de teste para determinar a integridade de vazamento de sistemas de distribuição de gás com o detector de vazamento de hélio SEMI F106

Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), que inclui atividades para o benefício de indústrias como semicondutores, circuitos integrados, transistores, diodos e monitores de tela plana em todo o mundo, o padrão SEMI F106 é tecnicamente aprovado pelo Comitê Técnico Global de Gases. é um padrão. Este padrão descreve um método de teste para detectar vazamentos internos de hélio para sistemas de distribuição de gás. Este padrão cobre os sistemas convencionais de vedação de face de metal e sistemas de distribuição de gás montados na superfície.

O método de teste apresentado é aplicável a todos os tipos de sistemas de distribuição de gás de alta pureza usados ​​em fábricas de semicondutores e áreas de pesquisa e desenvolvimento comparáveis.

O teste de vazamento de hélio é aplicado para detectar possíveis vazamentos em diferentes tipos de sistemas fechados ou selados que usam hélio como gás traçador. Com este teste, a concentração de vazamento (vazamento) é medida e determinada como a taxa de vazamento.

As principais qualidades do gás hélio que o tornam ideal para testes de vazamento são:

• O gás hélio é uma das menores moléculas que permite que ele cruze caminhos de forma confiável e rápida.
• O gás hélio é um gás inerte, não interage com os componentes testados e, portanto, é seguro para uso.
• O ruído do dispositivo de hélio é inerentemente baixo devido à sua disponibilidade limitada na atmosfera a menos de 5 ppm e, portanto, fornece relatórios extremamente precisos.

Resumindo, os métodos de teste baseados em hélio são uma tecnologia de teste de vazamento altamente sensível, equipada com a detecção de vazamentos extremamente pequenos que não são possíveis com outros métodos de teste de vazamento. A técnica de alto vácuo é usada durante este teste. São fornecidos limites de teste de vazamento muito baixos, um nível de sensibilidade que permite comparações sem paralelo entre os componentes do pacote.

Nossa organização, entre os numerosos estudos de teste, medição, análise e avaliação que fornece para empresas em diversos setores, também fornece serviços de teste para a determinação da integridade de vazamento de sistemas de distribuição de gás com detector de vazamento de hélio no âmbito da norma SEMI F106, com sua equipe treinada e especializada e equipamento tecnológico avançado.