Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F114 define um método de teste para determinar compostos orgânicos em superfícies úmidas de sistemas e componentes de entrega de produtos químicos de pureza ultra-alta (UHP).
Este método de teste é aplicável a sistemas e componentes de entrega de produtos químicos de pureza ultra-alta. Exemplos de testes incluem válvulas, reguladores, filtros e controladores de fluxo de massa, tubulação, acessórios de solda e acessórios de vedação facial. O método de teste descrito também é usado para detectar a contaminação de uma área de montagem ou produção. Este método de teste detalha o método de remoção e medição de contaminantes orgânicos encontrados em superfícies molhadas.
Resumidamente, este método de teste também pode ser usado para avaliar a eficácia de vários processos de lavagem ou limpeza.
Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:
Os poluentes orgânicos são definidos como substâncias químicas à base de carbono, como solventes orgânicos, pesticidas, resíduos derivados do petróleo, madeira e compostos voláteis em fase gasosa ou líquida. Os poluentes orgânicos geralmente causam impactos negativos no meio ambiente. Traços de resíduos de poluentes orgânicos encontrados no solo, na água, no ar e, às vezes, nos alimentos, são considerados prejudiciais à saúde humana e ambiental. Os poluentes orgânicos em fase gasosa ou líquida podem incluir solventes, precursores e intermediários químicos e compostos orgânicos voláteis (COVs) na forma de compostos de petróleo.
Nossa organização fornece serviços de teste para a determinação de poluentes orgânicos em superfícies úmidas de sistemas de distribuição de produtos químicos de ultra-alta pureza e componentes no escopo da norma SEMI F114, com sua equipe treinada e especializada e equipamento tecnológico avançado, entre os numerosos testes, medições , estudos de análise e avaliação que fornece para negócios em diversos setores.
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