Desenvolvido sob um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F70 é um padrão tecnicamente aprovado pelo Gases Global Technical Committee. O objetivo desta norma é fornecer uma metodologia padrão e um método de teste para medir o desempenho do aditivo particulado de um sistema de distribuição de gás em termos do número de partículas adicionadas ao gás que flui através do sistema. Este procedimento padronizado deve ser amplamente utilizado por fornecedores de sistemas de distribuição de gás, fornecedores de equipamentos e usuários finais.
Este método de teste se aplica a sistemas convencionais de distribuição de gás montados em superfície usados em equipamentos de fabricação de semicondutores. Durante os testes, o padrão SEMI F70.1-0320 anexado a este padrão é levado em consideração (método de teste para determinar a contribuição de partículas do sistema de distribuição de gás e seus componentes por teste de impacto).
Uma das considerações mais importantes no projeto de um sistema de distribuição de gás é o nível de pureza do gás necessário em cada ponto de uso. Manter a pureza do gás é simplificado por um sistema centralizado. A escolha dos materiais para instalação deve ser consistente em toda a extensão. Por exemplo, se um gás de grau de pesquisa for usado, toda a construção de aço inoxidável e válvulas de corte sem diafragma devem ser usadas para evitar a contaminação do fluxo de gás. Em geral, existem três níveis de pureza para descrever quase qualquer aplicação: pureza para todos os fins, pureza elevada e pureza ultraelevada.
Os padrões da SEMI e as práticas de segurança não pretendem abordar todos os problemas de segurança para seu uso. É responsabilidade dos usuários das normas estabelecer as práticas de segurança e saúde adequadas e determinar a aplicabilidade das restrições de uso.
Resumindo, o objetivo do padrão SEMI F70 é fornecer um método para medir o desempenho do aditivo particulado de um sistema de distribuição de gás em termos do número de partículas adicionadas ao gás que flui através do sistema.
Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:
Entre os numerosos estudos de ensaio, medição, análise e avaliação que disponibiliza para empresas de diversos setores, a nossa organização também presta serviços de ensaio para determinação da contribuição de partículas do sistema de distribuição de gás no âmbito da norma SEMI F70, com os seus formados e equipe especializada e equipamento tecnológico avançado.
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