Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F112 concentra-se na determinação das características de secagem por umidade (ou seja, a quantidade de umidade extraível) da montagem da superfície de sistemas integrados de distribuição de gás e gás convencional sistemas de distribuição usando analisadores de espectroscopia de anel espacial (CRDS). Um método de teste é definido para
-ile-belirlenmesi-icin-test-yontemi.jpg "Método de teste SEMI F112 para determinação das propriedades de secagem de umidade de sistemas de distribuição de gás convencionais e montados na superfície por espectroscopia de anel de cavidade (CRDS)")
Os resultados deste método de teste são usados para a classificação qualitativa do sistema de distribuição de gás com base no projeto. Também pode ser usado por um usuário com conhecimento suficiente como entrada para a simulação numérica do comportamento de um sistema de distribuição de gás.
Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:
A espectroscopia de anel espacial (CRDS) é uma técnica bem conhecida e usada para monitorar a umidade em gases de processo de alta pureza nas indústrias de manufatura de semicondutores e LEDs, bem como na produção, transporte e distribuição de produtos químicos e industriais. Os benefícios desta técnica precisa e econômica de monitoramento de umidade estão atraindo a atenção de emissores padrão da indústria, como a SEMI.
O método de teste apresentado no padrão SEMI F112 permite aos usuários avaliar qualitativamente e classificar os sistemas de distribuição de gás de acordo com seu projeto. Este padrão cobre as seguintes áreas de aplicação principais:
Em geral, os padrões SEMI são acordos técnicos voluntários entre fornecedores e clientes com o objetivo de melhorar a qualidade e confiabilidade do produto por meio de fornecimento estável. Esses padrões garantem a compatibilidade global de produtos para atender aos desafios de aumentar a produtividade e, ao mesmo tempo, fornecer oportunidades de negócios em todo o mundo.
Nossa organização, entre os numerosos estudos de ensaio, medição, análise e avaliação que oferece para empresas de diversos setores, com sua equipe treinada e especializada e equipamento tecnológico avançado, no âmbito da norma SEMI F112, propriedades de secagem de umidade de montagem em superfície e sistemas convencionais de distribuição de gás com espectroscopia de anel espacial (CRDS). Também fornece serviços de teste para a determinação de
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