Desenvolvido sob um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o objetivo do padrão SEMI F72 é descrever um método de teste para caracterizar a composição da superfície de componentes de aço inoxidável 316L passivados considerados para instalação em um sistema de distribuição de gás de alta pureza . Este método de teste é projetado para ser aplicado a superfícies úmidas de tubos de aço inoxidável, conexões, válvulas e outros componentes como uma medida da eficácia de passivação. O processo de passivação é o processo de neutralização do ferro após a utilização de ácido removedor de ferrugem.
-icin-test-yontemi-pasiflestirilmis-316l-paslanmaz-celik-bilesenlerin-islak-yuzeylerinin-testleri.jpg "Método de teste SEMI F72Auger para testes de espectroscopia de elétrons (AES) de superfícies úmidas de componentes de aço inoxidável 316L passivados")
O objetivo deste método de teste é definir um conjunto geral de parâmetros e condições do instrumento que irão obter medições reproduzíveis dentro da camada de óxido passivo enriquecido com cromo. Este método de teste foi preparado para caracterizar a composição e espessura da camada de óxido enriquecido com cromo de superfícies de aço inoxidável e para detectar contaminação de superfície em tubos, conexões, válvulas e outros componentes. O método envolve a detecção e medição da composição do elemento de superfície por espectroscopia de elétrons Auger (AES). Este método de teste também descreve o método de teste para o perfil de composição em profundidade de cromo, ferro, níquel, oxigênio e carbono que se estende da superfície tomada através das camadas de óxido até o metal de base. Esta medição fornece informações sobre a espessura do óxido e o enriquecimento de cromo em toda a região passivada.
Usando a espectroscopia de elétrons Auger (AES), a amostra é bombardeada por elétrons de alta energia e alguns elétrons são removidos dos átomos alvo e os átomos são ionizados. Como o átomo ionizado é instável, um elétron do orbital externo preenche a lacuna do elétron no orbital interno. Este método é uma técnica de análise de imagem muito poderosa.
Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:
A nossa organização, entre os numerosos estudos de ensaio, medição, análise e avaliação que tem prestado a empresas de diversos sectores, com o seu pessoal treinado e especializado e equipamento tecnológico avançado, o método de ensaio para espectroscopia electrónica Auger (AES) no âmbito do SEMI O padrão F72 é o método de teste de óxido das superfícies úmidas de componentes de aço inoxidável 316L passivado e também fornece serviços de teste para avaliação da camada.
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