A norma SEMI F111, desenvolvida no âmbito de um programa internacional de normas denominado Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), que inclui atividades que beneficiam indústrias como semicondutores, circuitos integrados, transistores, diodos e telas planas em todo o mundo, define um método de teste para medir a capacidade de remoção de partículas de unidades de filtro de ventilador de equipamentos (EFFUs) montadas dentro de equipamentos.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "Método de teste da unidade de filtro do ventilador do equipamento SEMI F111 (EFFU) para remoção de partículas")
Por possuir filtro de particulado do ventilador, conjunto ventilador e motor instalado no interior do equipamento, a integridade dessas peças é muito importante para o desempenho da unidade de filtro do ventilador do equipamento. Portanto, um método de teste de remoção de particulado convencional para filtros de particulado é adequado para avaliar o desempenho de remoção de particulado da unidade de filtro de ventilador do equipamento.
O método de teste descrito nesta norma descreve um método de avaliação para uma unidade de filtro de ventilador de equipamento instalada em um espaço confinado para remover partículas produzidas dentro do equipamento de processo. O desempenho da remoção de partículas das unidades de filtro do ventilador do equipamento geralmente depende do desempenho da mídia do filtro e da taxa de fluxo de ar. Para entender o desempenho de uma unidade de filtro do ventilador do equipamento, é necessário considerar simultaneamente a especificação do meio de filtro, a taxa de fluxo de ar e a integridade das peças da unidade do filtro do ventilador do equipamento. Resumidamente, este método de teste visa demonstrar o desempenho do sistema da unidade de filtro do ventilador do equipamento.
A unidade de filtro do ventilador do equipamento é um tipo de equipamento motorizado de filtragem do ar. É usado para remover partículas aerotransportadas nocivas do ar ambiente e para fornecer ar purificado para salas limpas, laboratórios, instalações médicas ou microambientes. Essas unidades geralmente contêm seu próprio filtro, filtro HEPA e distribuição de ar do ventilador controlada internamente. As unidades de filtro de ventilador do equipamento são soluções flexíveis e econômicas para a remoção de partículas de equipamentos com ventilação unidirecional.
Ao preparar este padrão, o seguinte padrão SEMI foi tomado como referência:
Entre os numerosos estudos de teste, medição, análise e avaliação que oferece para empresas em diversos setores, nossa organização também fornece serviços de teste para limpeza de partículas de unidade de filtro de ventilador de equipamentos (EFFU) no âmbito da norma SEMI F111, com sua equipe treinada e especializada e equipamentos tecnológicos avançados.
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