A norma SEMI F 64, desenvolvida no âmbito de um programa internacional de normas denominado Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), que engloba atividades que beneficiam indústrias como semicondutores, circuitos integrados, transistores, diodos e telas planas em todo o mundo, define um método de ensaio para caracterizar um controlador de fluxo de massa destinado à instalação em um sistema de distribuição de gás. Este método de ensaio é aplicado para determinar o efeito das condições de pressão de entrada e saída, tanto em regime transitório quanto permanente, sobre o desempenho do controlador de fluxo de massa.
Este método de teste fornece uma base comum para a comunicação entre fabricantes e usuários em relação ao teste e explicação dos efeitos de pressão do controlador de fluxo de massa.
Com este método de teste, os efeitos da pressão transiente a montante (entrada) e a jusante (fluxo de saída) no fluxo especificado e real são determinados. Este método de teste fornece resultados de fluxo de saída real versus fluxo especificado e ponto de ajuste do controlador de fluxo de massa afetado pela pressão de entrada de estado estacionário. O método se aplica a controladores de fluxo de massa com uma faixa de fluxo máxima de até 1000 sccm (centímetros cúbicos padrão por minuto).
O aumento da pressão faz com que o gás seja comprimido. Os gases têm uma densidade maior e ocupam um volume menor. Em outras palavras, se uma determinada massa de gás está fluindo, seu volume é menor. Como a mesma massa de gás flui pelo mesmo tubo, a velocidade do gás comprimido diminui.
Em aplicações de gás, as flutuações da pressão do gás podem afetar a velocidade do gás, afetando significativamente os instrumentos de medição de fluxo de gás.
Essencialmente, o fluxo é uma medida da saída de ar em volume por unidade de tempo. A velocidade se refere a quão rápido o ar se move por unidade de tempo. Pressão é a medida da força aplicada a uma área.
Entre os numerosos estudos de ensaio, medição, análise e avaliação que a nossa empresa disponibiliza para negócios de diversos setores, com o seu pessoal treinado e especializado e equipamento tecnológico avançado, serviços de ensaio para a determinação dos efeitos da pressão sobre o fluxo real e apresentados para a massa dispositivos de controle de fluxo dentro do escopo do padrão SEMI F64.
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