A norma SEMI F76, desenvolvida no âmbito do programa internacional de normas Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , define um método de ensaio para comparar componentes de processamento de gases quanto à potencial geração de partículas em serviço com gases corrosivos. Esta norma foi concebida como uma forma prática de gerar dados de desempenho para um grupo de componentes a serem comparados em um processo de seleção. O método de ensaio descrito aplica-se a válvulas, filtros de partículas e reguladores de baixa pressão.
Os padrões SEMI fornecem aos fabricantes orientação sobre os processos químicos e materiais envolvidos na fabricação de chips semicondutores e outros dispositivos relacionados. Graças a esses padrões, as empresas podem entrar nos mercados internacionais, minimizar os riscos de design e aumentar sua produtividade.
Para a indústria de semicondutores, alta pureza, resistência química, densidade e precisão são ferramentas importantes para o desenvolvimento de produtos e processos de fabricação. Os materiais semicondutores são materiais que ganham propriedades condutoras com o efeito do trabalho mecânico aplicado sobre eles. Esses materiais, que são isolantes em condições normais, liberam alguns de seus elétrons e se tornam condutores quando são aplicados efeitos externos como calor, luz, efeito magnético ou voltagem elétrica. Quando esse efeito externo aplicado é removido, essas substâncias voltam ao estado de isolamento novamente. Graças a essas propriedades, os semicondutores são amplamente utilizados no campo da eletrônica.
Os padrões SEMI também se relacionam a fontes de gás armazenado / comprimido e sistemas de distribuição. Também se refere geralmente a gases aditivos altamente tóxicos durante as etapas de difusão de alta temperatura.
Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:
Entre os numerosos estudos de teste, medição, análise e avaliação que fornece para empresas em vários setores, nossa organização também fornece serviços de teste para a avaliação da contribuição de partículas de componentes de sistemas de gás expostos a gases corrosivos no âmbito da norma SEMI F76, com seus treinados e equipe especializada e equipamento tecnológico avançado.
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