Método de teste SEMI F73 para avaliação por microscopia eletrônica de varredura (SEM) da condição da superfície úmida de componentes de aço inoxidável

Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), o padrão SEMI F73 define um método de teste uniforme para testar superfícies úmidas de componentes de aço inoxidável destinados à montagem em sistemas de distribuição de gás de alta pureza. Este método de teste caracteriza a ocorrência, frequência e, em alguns casos, identidade de defeitos microscópicos de superfície e contaminantes vistos em superfícies molhadas.

Há uma correlação direta entre os resultados desse método de teste e a contaminação dos gases do processo ou rendimentos do produto em processos atendidos por sistemas de distribuição de gás de alta pureza. A aplicação deste método de teste se destina a produzir resultados comparáveis ​​e reproduzíveis entre vários usuários deste método para fins de qualificação de componentes.

O objetivo do método de teste descrito nesta norma é definir um conjunto geral de parâmetros e condições instrumentais que produzirão medições precisas e repetíveis de parâmetros importantes da condição da superfície.

Este método de teste é aplicável a superfícies úmidas em tubos de aço inoxidável, conexões, válvulas e outros componentes para determinar a eficácia do acabamento da superfície e dos tratamentos de limpeza. Este método é aplicado para identificar defeitos de superfície, incluindo poços, inclusões, arranhões, marcas residuais de processo, contornos de grão e contaminação em superfícies molhadas. No entanto, qualquer dano superficial ocorrido durante a preparação da amostra deve ser excluído desta avaliação.

Um microscópio eletrônico de varredura (SEM) é um microscópio eletrônico que usa um feixe de elétrons focado para escanear e criar imagens da superfície da amostra. Os elétrons interagem com os átomos na amostra e produzem diferentes sinais contendo informações sobre a composição na superfície da amostra. Dispositivos de varredura padrão são adequados para inspecionar superfícies secas e condutoras em alto vácuo. No entanto, também existem dispositivos de digitalização que operam em baixo vácuo e condições úmidas e em condições que variam de muito baixas a altas temperaturas.

Entre os inúmeros testes, medições, análises e avaliações que nossa organização oferece para empresas de diversos setores, também disponibilizamos serviços de teste para avaliação da condição da superfície úmida de componentes de aço inoxidável utilizando microscopia eletrônica de varredura (MEV), de acordo com a norma SEMI F73, graças à nossa equipe treinada e especializada e aos nossos equipamentos tecnológicos avançados.