Método de teste SEMI F113 para transdutores de pressão usados ​​em sistemas de distribuição de gás

Método de teste SEMI F113 para transdutores de pressão usados ​​em sistemas de distribuição de gás

No padrão SEMI F113, desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), que inclui atividades para o benefício de indústrias como semicondutores, circuitos integrados, transistores, diodos e monitores de tela plana em todo o mundo , é usado em sistemas de distribuição de gás para processamento de semicondutores.Um método de teste para transdutores de pressão eletrônicos é descrito.

Método de teste SEMI F113 para transdutores de pressão usados ​​em sistemas de distribuição de gás

O método de teste descrito é para testar integridade de vazamento, tempo de aquecimento, precisão de tensão, imprecisão, linearidade, repetibilidade, histerese, reprodutibilidade, coeficiente térmico, polarização, ciclo de vida acelerado e pressão de prova de transdutores de pressão com a faixa de pressão total de 2757.9 ou menos em sistemas de distribuição de gás. inclui procedimentos.

Ao preparar este padrão, os seguintes padrões SEMI foram tomados como referência:

  • Especificações e diretrizes para SEMI C59 Nitrogen
  • SEMI E27 Controlador de fluxo de massa e guia de linearidade do medidor de fluxo de massa
  • Manual de especificações de pressão para controlador de fluxo de massa SEMI E28
  • Guia de desempenho de tubulação de alta e ultra-alta pureza SEMI E49 para subconjuntos e conjuntos finais
  • Método de teste SEMI E56 para determinação de precisão, linearidade, repetibilidade, reprodutibilidade de curto prazo, histerese e banda morta de controladores de fluxo de massa térmica
  • Manual de análise do sistema de medição SEMI E89 (MSA)
  • Especificação de integridade de vazamento SEMI F1 de sistemas e componentes de tubulação de gás de alta pureza
  • Método de teste SEMI F62 para determinar as características de desempenho do controlador de fluxo de massa a partir dos efeitos da temperatura ambiente e do gás

A tecnologia energética depende de transdutores de pressão para criar um sistema de energia confiável. Os transdutores de pressão são uma excelente solução para biogás, gás natural e outras fontes de energia. Essas fontes requerem medição de pressão para garantir sua segurança e confiabilidade. As indústrias que geralmente precisam monitorar a pressão do gás são aquelas com sistemas complexos, onde até mesmo o menor erro de cálculo de pressão pode levar a um desastre.

Nossa organização também fornece serviços de teste para transdutores de pressão usados ​​em sistemas de distribuição de gás no âmbito da norma SEMI F113, com sua equipe treinada e especializada e equipamento tecnológico avançado, entre os inúmeros estudos de teste, medição, análise e avaliação que fornece para negócios nos mais diversos setores.

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