Método de teste para determinar a eficiência da troca / descarga de gás do sistema de distribuição de gás SEMI F80

Desenvolvido no âmbito de um programa de padrões internacionais denominado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), que inclui atividades para o benefício de indústrias como semicondutores, circuitos integrados, transistores, diodos e monitores de tela plana em todo o mundo, o padrão SEMI F80 é tecnicamente aprovado pelo Comitê Técnico Global de Gases. é um padrão. Este padrão descreve um método de teste para determinar a eficiência de troca / limpeza de gás do sistema de distribuição de gás. Este padrão cobre os sistemas convencionais de vedação de face de metal e sistemas de distribuição de gás montados na superfície. Este método de teste é adequado para todos os sistemas de distribuição de gás de alta pureza usados ​​em fábricas de semicondutores e áreas de pesquisa e desenvolvimento comparáveis.

É importante remover o ar ambiente de todas as partes de um sistema de tubulação de gás de alta pureza antes da introdução do gás de processo. Isso é necessário por dois motivos:

• O ar restante reduz a pureza do gás de processo. Isso se aplica a qualquer gás de processo, seja perigoso ou não.
• O ar contém oxigênio e vapor de água, alguns gases especiais reagem com o oxigênio e os produtos de reação resultantes podem causar contaminação do processo e falha de componentes do manifold. Outros gases formam produtos altamente corrosivos quando em contato com o vapor de água e danificam o sistema de tubulação. A corrosão do equipamento também é causa de contaminação.

É necessário remover o gás do processo de qualquer parte do sistema de tubulação antes da exposição ao ar ambiente. As razões para isso podem ser listadas a seguir:

• Muitos gases especiais são altamente tóxicos e representam um sério risco para a saúde dos trabalhadores.
• Alguns gases são altamente inflamáveis ​​ou até mesmo se auto-inflamáveis ​​e apresentam risco de incêndio ou explosão.
• Alguns gases, por outro lado, tornam-se altamente corrosivos quando em contato com o vapor d'água no ar e causam danos a equipamentos e instalações.

Entre os inúmeros testes, medições, análises e avaliações que nossa organização oferece para empresas de diversos setores, também disponibilizamos serviços de teste para determinar a eficiência de troca/descarga de gases em sistemas de distribuição de gás, de acordo com a norma SEMI F80, graças à nossa equipe treinada e especializada e aos nossos equipamentos tecnológicos avançados.