SEMI F104 用於評估超純水和液體化學品輸送系統中使用的組分的顆粒混合物的測試方法

SEMI F104 標準是在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃的框架內製定的，它描述了要求並提供了測試方法，以評估和比較超純水液體流中的組件在顆粒貢獻方面。 該標准定義了兩種評估顆粒貢獻的測試方法：漂洗測試方法和動態測試方法。

• 漂洗測試方法評估部件處於靜止狀態時在洗滌模式下的性能，即被測部件中沒有主動移動的部件。 使用此測試方法，可以獲得使顆粒水平達到規範所需的洗滌量的指示。
• 在動態測試方法中，在組件運行期間評估性能，並獲得由於動態運行條件導致的穩態粒子貢獻的指示。

這兩種測試方法都適用於用於半導體製造工具和輔助設備的液體化學和超純水系統組件。

本標準中描述的測試方法是在使用超純水作為測試介質時測量組件的顆粒貢獻的測試。 就本標準而言，超純水必須滿足標準中列出的最低要求。 在應用這些測試方法時，使用液體光學粒子測量儀來測量性能。 該設備通常用作粒子計數器，以檢測和監測某些清潔環境（包括空氣、水和化學品）中的微粒污染。 粒子計數器用於工業技術，如電子元件和組件、醫藥產品和醫療設備以及石油和天然氣，以支持清潔生產實踐。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI E49 子組件和最終組件的高純和超高純管道性能指南
• SEMI F57 超純水和液體化學品輸送系統中使用的聚合物成分規範

在我們為各行各業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估中，我們還利用訓練有素的專家人員和先進的技術設備，根據 SEMI F104 標準提供超純水和液體化學品分配系統組件中顆粒含量評估的測試服務。