
SEMI F69 標準是根據稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃制定的,是由氣體全球技術委員會技術批准的標準。 該標準提供了通過振動和衝擊測試來表徵氣體分配系統機械完整性的測試方法。 這裡推薦的測試方法包括半導體加工氣體分配系統(包括傳統和表面貼裝)的振動(運輸模擬)和衝擊測試。

SEMI F69 標準中定義的測試方法適用於未包裝運輸的氣體分配系統。 具體來說,測試方法適用於組裝和互連的氣體分配部件及其相關的安裝面板,無論有或沒有金屬板屏蔽。
就本標準而言,運輸振動和模擬預計會高於使用中振動水平的正常水平。 因此,運輸模擬測試被認為可以用來評估氣體分配系統的運輸和生命週期振動應力的足夠機械完整性。
衝擊測試的目的是對開箱、安裝或現場使用過程中因衝擊而導致的設備故障提供更詳細的評估。
如果成功完成本標準中推薦的測試,它代表了氣體分配系統架構、設計和組裝技術的推薦機械完整性。
當大量使用氣體時,集中式氣體分配系統是實際必要的。 精心設計的分配系統可降低運營成本、提高生產率並提高安全性。 中央系統允許將所有氣瓶整合到一個存儲位置。 在此應用中,氣體根據其類型進行分離以提高安全性。
在製定本標準時,參考了以下SEMI標準:
我們的組織還提供 SEMI F69 標準範圍內的燃氣分配系統的傳輸和衝擊測試服務,擁有訓練有素的專業員工和先進的技術設備,為各行業的企業提供眾多的測試、測量、分析和評估研究。
