SEMI F111 設備風扇過濾器裝置 (EFFU) 顆粒去除測試方法

SEMI F111 標準是在名為國際半導體設備和材料協會 (SEMI) 的國際標準計劃框架內製定的，該計劃涵蓋的活動惠及全球半導體、集成電路、晶體管、二極管和平板顯示器等行業。此標準定義了一種測試方法，用於測量安裝在設備內部的設備風扇過濾器單元 (EFFU) 的顆粒去除能力。

由於設備內部安裝了風扇微粒過濾器、風扇和電機組件，這些部件的完整性對設備風扇過濾器單元的性能非常重要。 因此，常規的顆粒過濾器顆粒去除測試方法適用於評估設備風扇過濾單元的顆粒去除性能。

本標準中描述的測試方法描述了一種評估方法，用於安裝在密閉空間中的設備風扇過濾器單元，以去除工藝設備內產生的顆粒。 設備風機過濾單元的顆粒去除性能一般取決於過濾介質的性能和空氣流速。 要了解設備風扇過濾器單元的性能，需要同時考慮過濾介質規格、空氣流量和設備風扇過濾器單元部件的完整性。 簡而言之，該測試方法旨在展示設備風扇過濾器單元的系統性能。

設備風機過濾機組是一種機動空氣過濾設備。 它用於去除環境空氣中的有害空氣傳播顆粒，並向潔淨室、實驗室、醫療設施或微環境提供淨化空氣。 這些裝置通常包含自己的過濾器、HEPA 過濾器和內部控制的風扇空氣分配。 設備風扇過濾器單元是一種靈活且經濟的解決方案，用於從單向通風設備中去除微粒。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI F38 使用點氣體過濾器效率鑑定的測試方法

在它為各行各業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，我們的組織還提供 SEMI F111 標準範圍內的設備風扇過濾器單元 (EFFU) 顆粒清潔測試服務，其訓練有素的專家員工和先進的技術設備。