確定 SEMI F68 澄清器效率的測試方法

SEMI F68 標準是根據稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃制定的，其目的是定義一種測試方法，用於確定澄清劑從基質氣體中去除活性氣態雜質的有效性。 也就是說，目的是確定氣體淨化器去除某種類型污染物的有效性。

通過向純基質氣體中添加 ppm（百萬分之一）水平的氣態雜質並監測測試澄清器的輸出以了解活性雜質類型來進行效率測試。 這些測試是在供應商推薦的流量、工作溫度和壓力下進行的。 所述測試方法適用於大型澄清池。

為了應對某些限制，澄清器的正確操作非常重要。 由於維護或操作限制等各種因素，澄清池的效率並不是恆定的。 澄清器的標稱分離效率可能為 90%，而實際上效率範圍為 20% 到 60%。 如果澄清器的效率未知，則存在不需要的燃料進入主發動機的風險，從而導致損壞的風險很高。

細小顆粒會損壞燃油噴射部件，腐蝕噴油嘴，並擾亂噴霧模式，導致燃油分佈不均。為了降低高濃度細顆粒燃油進一步擴散的可能性，採用了沉澱、淨化和過濾相結合的製程。

一般來說，以下三種情況會觸發澄清池效率監測：

• 當實驗室分析結果顯示燃料中細顆粒含量極高時
• 當推進系統遇到操作問題時
• 作為定期維護的一部分

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI E29 質量流量計和質量流量控制器中使用的標準壓力、溫度、密度和流量單位指南
• SEMI F6 危險氣體管道系統二次密封手冊
• SEMI F22 氣體分配系統手冊

我們的組織在為各個行業的企業提供眾多測試、測量、分析和評估研究的同時，還提供測試服務，以確定SEMI F68 標準範圍內的精煉機效率，並擁有訓練有素的專家員工和先進的技術。技術裝備。