用於腐蝕性氣體系統的不銹鋼表面電化學臨界點蝕溫度測試的 SEMI F77 測試方法

SEMI F77 標準是在國際半導體設備和材料 (SEMI) 標準的框架下制定的，該標準涵蓋了惠及全球半導體、集成電路、電晶體、二極管和平板顯示器等行業的各項活動。 SEMI F77 標準定義了一種測試方法，用於測定擬用於半導體製造腐蝕性氣體輸送系統的元件濕表面的抗點蝕性能。此測試方法是對美國材料與試驗協會 (ASTM) 發布的 ASTM G150 標準（ASTM G150-18《不銹鋼及相關合金電化學臨界點蝕溫度測試標準》）的改進。該標準旨在區分影響濕表面耐腐蝕性能的合金成分或製程。 SEMI F77 標準的詳細資訊包含在 ASTM G150 標準中，建議在應用此測試方法時參考 ASTM G150 標準。

SEMI F77 標準中描述的測試方法包括基於電化學臨界點蝕溫度的程序，用於對管道的潤濕表面或擬用於腐蝕性氣體系統的代表性成品表面的測試試樣的耐點蝕性進行分級。 眾所周知，點腐蝕是半導體氣體分配系統中腐蝕失效的一種重要模式，特別是在焊接並暴露於腐蝕性氣體和濕氣中的部件和管道中。

簡而言之，SEMI F77 標準測試方法是對 ASTM G150 標準測試方法的改編，並描述了一種測試方法，用於對從供氣系統組件（例如氣瓶）切割的試樣或濕表面部分進行改編。 這是濕浸法。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI F19 不銹鋼部件潤濕表面的表面狀況規範

在它為各個行業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，我們的組織還提供測試服務，以確定 SEMI F77 標準範圍內用於腐蝕性氣體系統的不銹鋼表面的電化學臨界點蝕溫度，與其訓練有素的專家員工和先進的技術設備。