SEMI F73 不銹鋼部件濕表面狀況的掃描電子顯微鏡 (SEM) 評估測試方法

在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃框架內製定的 SEMI F73 標准定義了一種統一的測試方法，用於測試用於組裝在高純度氣體分配系統中的不銹鋼部件的濕表面。 該測試方法表徵了在潮濕表面上看到的微觀表面缺陷和污染物的出現、頻率以及在某些情況下的特性。

該測試方法的結果與工藝氣體的污染或高純度氣體分配系統所服務的工藝中的產品產量之間存在直接相關性。 該測試方法的應用旨在在該方法的不同用戶之間產生可比較和可重複的結果，以便對組件進行鑑定。

本標準中描述的測試方法的目的是定義一組通用的儀器參數和條件，這些參數和條件將對錶麵條件的重要參數進行精確和可重複的測量。

本試驗方法適用於不銹鋼管、管件、閥門和其他部件的潮濕表面，以確定表面處理和清潔處理的有效性。 該方法用於識別表面缺陷，包括凹坑、夾雜物、划痕、殘留工藝痕跡、晶界和潤濕表面的污染。 然而，樣品製備過程中發生的任何表面損傷都應排除在此評估之外。

掃描電子顯微鏡 (SEM) 是一種電子顯微鏡，它使用聚焦的電子束對樣品表面進行掃描和成像。 電子與樣品中的原子相互作用並產生不同的信號，其中包含有關樣品表面成分的信息。 標準掃描設備適用於在高真空下檢查乾燥和導電的表面。 然而，也有在低真空、潮濕條件和從極低到高溫的條件下運行的掃描設備。

在我們為各行各業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估中，憑藉我們訓練有素的專家人員和先進的技術設備，我們還提供使用掃描電子顯微鏡 (SEM) 在 SEMI F73 標準範圍內評估不銹鋼部件濕表面狀況的測試服務。