使用 SEMI F106 氦氣檢漏儀確定氣體分配系統洩漏完整性的測試方法

SEMI F106 標準是在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃框架內製定的，該計劃包括為全球半導體、集成電路、晶體管、二極管和平板顯示器等行業謀福利的活動，SEMI FXNUMX 標準是氣體全球技術委員會在技術上批准的標準。 本標準描述了檢測氣體分配系統內部氦氣洩漏的測試方法。 該標準涵蓋傳統的金屬面密封和表面安裝的氣體分配系統。

所提出的測試方法適用於半導體製造設施和類似研發領域中使用的所有類型的高純度氣體分配系統。

氦氣洩漏測試用於檢測使用氦氣作為示踪氣體的不同類型的封閉或密封系統中可能存在的洩漏。 通過該測試，測量洩漏（洩漏）濃度並將其確定為洩漏率。

氦氣具有以下主要特性，使其成為洩漏測試的理想選擇：

• 氦氣是最小的分子之一，能夠可靠、快速地穿過路徑。
• 氦氣是一種惰性氣體，不會與測試部件發生相互作用，因此可以安全使用。
• 由於氦氣在大氣中的可用性有限，其濃度低於 5 ppm，因此設備噪聲本身就很低，因此可以提供極其準確的報告。

簡而言之，氦基測試方法是一種高度靈敏的洩漏測試技術，能夠檢測其他洩漏測試方法無法檢測到的極小洩漏。 該測試過程中使用了高真空技術。 提供非常低的洩漏測試閾值，其靈敏度水平允許在封裝組件之間進行無與倫比的比較。

在為各行業企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，我們的組織還提供 SEMI F106 標準範圍內的氦檢漏儀確定氣體分配系統洩漏完整性的測試服務，並擁有訓練有素的專業員工和先進的技術設備。