SEMI F71 氣體分配系統溫度循環的測試方法

SEMI F71 標準是在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃框架內製定的，該計劃包括為全球半導體、集成電路、晶體管、二極管和平板顯示器等行業帶來利益的活動，SEMI FXNUMX 標准在技術上獲得批准由氣體全球技術委員會制定。是一個標準。 本標准定義的測試方法適用於安裝在半導體製造設備中的氣體分配系統。

本標準並非旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。 本標準的用戶有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐，並確定限制的適用性。

在低壓氣體分配系統中，主管道和服務管線中的氣體壓力與輸送到用戶設備的氣體壓力基本相同。 在這樣的系統中，在單獨的服務線路上不需要服務調節器。 高壓氣體分配管道系統在比提供給用戶的標準工作壓力更高的壓力下運行。 在這樣的系統中，每條服務管線上都需要一個服務調節器來控制壓力。

不同的外部傳熱模式取決於管道流體壓力的影響和響應年度環境溫度循環的溫度計算。 在傳熱模型中，環境溫度循環由土壤表面溫度表示，它具有時間週期函數。 然而，結果對管道壓力的外部傳熱模式的選擇並不敏感。 對於通常代表天然氣出口管道的基本情況，對計算的氣體溫度的影響是有限的。

氣體分配系統中的許多材料會根據環境因素發生變化。 對環境條件的抵抗力測試旨在檢測這些變化。

氣體分配系統必須以每種應用所需的壓力和流速安全有效地將氣體從高壓源輸送到最終過程。

我們的組織還提供 SEMI F71 標準範圍內的氣體分配系統溫度循環測試服務，擁有訓練有素的專家人員和先進的技術設備，在它為各種企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中部門。