SEMI F112 通過腔環光譜法 (CRDS) 測定表面安裝和常規氣體分配系統的水分乾燥特性的測試方法

SEMI F112 標準是在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃框架內製定的，重點是確定集成氣體分配系統和常規氣體表面貼裝的水分乾燥特性（即可提取水分的量）。使用空間環光譜 (CRDS) 分析儀的配電系統。定義了一種測試方法

該測試方法的結果用於基於設計的氣體分配系統的定性排序。 它也可以被具有足夠知識的用戶用作氣體分配系統行為的數值模擬的輸入。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI C15 ppm 和 ppb 水分標準的測試方法
• SEMI F1 高純度氣體管道系統和組件的洩漏完整性規範

空間環光譜 (CRDS) 是一種眾所周知的技術，用於監測半導體和 LED 製造行業以及工業氣體和化學品生產、運輸和配送中高純度工藝氣體中的水分。 這種準確且具有成本效益的水分監測技術的優勢正在吸引 SEMI 等行業標準發布者的關注。

SEMI F112 標準中提出的測試方法允許用戶根據其設計對氣體分配系統進行定性評估和排名。 本標準涵蓋以下主要應用領域：

• 表面安裝的氣體分配系統
• 傳統的氣體分配系統
• 新管道系統的鑑定
• 新氣體分配設計的認證

一般而言，SEMI 標準是供應商與客戶之間的自願技術協議，旨在通過穩定供應來提高產品質量和可靠性。 這些標準確保產品的全球兼容性，以應對提高生產力的挑戰，同時提供全球商業機會。

在 SEMI F112 標準範圍內，我們的組織在為各個行業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，擁有訓練有素的專家員工和先進的技術設備，表面貼裝和具有空間環光譜 (CRDS) 的常規氣體分配系統。它還提供用於測定