SEMI F76 用於評估暴露於腐蝕性氣體的氣體系統組件的微粒貢獻的測試方法

SEMI F76 標準是在國際半導體設備與材料協會 (SEMI) 的國際標準制定計劃下制定的，它定義了一種測試方法，用於比較氣體處理組件在腐蝕性氣體環境中產生顆粒物的可能性。該標準旨在為一組待比較的組件提供實用的性能數據，以便在選型過程中進行比較。所描述的測試方法適用於閥門、顆粒過濾器和低壓調節器。

SEMI 標準為製造商提供有關製造半導體芯片和其他相關設備所涉及的化學品和材料工藝的指導。 由於這些標準，公司可以進入國際市場，最大限度地降低設計風險並提高生產力。

對於半導體行業而言，高純度、耐化學性、密度和精度是產品開發和製造過程的重要工具。 半導體材料是通過對其施加機械功而獲得導電性能的材料。 這些材料在正常條件下是絕緣體，當施加熱、光、磁效應或電壓等外部效應時，它們會釋放一些電子並變得導電。 當這種施加的外部效應被消除時，這些物質會再次恢復到絕緣狀態。 由於這些特性，半導體被廣泛應用於電子領域。

SEMI 標準還涉及存儲/壓縮氣體源和分配系統。 它通常也指高溫擴散步驟中的劇毒添加劑氣體。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI C59 氮氣規範
• SEMI E66 質量流量控制器確定粒子貢獻的測試方法
• SEMI F43 使用點氣體淨化器和氣體過濾器以及測定顆粒添加劑的試驗方法

我們的組織在為各個行業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，還提供測試服務，以評估暴露於 SEMI F76 標準範圍內的腐蝕性氣體的氣體系統組件的顆粒貢獻，其訓練有素的專業員工和先進的技術設備。