
SEMI F70 標準是根據稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃制定的,是由氣體全球技術委員會技術批准的標準。 本標準的目的是提供一種標準方法和測試方法,用於測量氣體分配系統的顆粒添加劑性能,即添加到流經系統的氣體中的顆粒數量。 該標準化程序旨在供燃氣分配系統供應商、設備供應商和最終用戶廣泛使用。

該測試方法適用於半導體製造設備中使用的傳統表面安裝氣體分配系統。 在測試過程中,考慮了本標準所附的 SEMI F70.1-0320 標準(通過衝擊測試確定氣體分配系統及其組件的顆粒物貢獻的測試方法)。
設計氣體分配系統時最重要的考慮因素之一是每個使用點所需的氣體純度水平。 集中式系統簡化了氣體純度的維護。 安裝材料的選擇必須始終一致。 例如,如果使用研究級氣體,則應使用全不銹鋼結構和無隔膜截止閥,以防止氣流污染。 一般來說,幾乎所有應用都可以用三種純度級別來描述:通用純度、高純度和超高純度。
SEMI 標準和安全實踐並未聲稱解決其使用的所有安全問題。 標準使用者有責任建立適當的安全和健康實踐並確定使用限制的適用性。
簡而言之,SEMI F70標準的目的是提供一種測量氣體分配系統的顆粒添加性能的方法,以添加到流經系統的氣體中的顆粒數量來衡量。
在為各行業企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中,我們的組織還憑藉訓練有素的專家員工和先進的技術設備,在 SEMI F70 標準範圍內提供確定氣體分配系統顆粒貢獻的測試服務。
