SEMI F114 測定超高純化學品輸送系統和組件濕表面有機污染物的測試方法

SEMI F114 標準是在國際半導體設備和材料 (SEMI) 國際標準計劃的框架內製定的，定義了一種用於測定超高純度 (UHP) 化學品輸送系統和組件的濕表面上的有機化合物的測試方法。

該測試方法適用於超高純度化學品輸送系統和組件。 測試樣品包括閥門、調節器、過濾器和質量流量控制器、管道、焊接配件和麵密封配件。 所描述的測試方法還用於檢測裝配或生產區域的污染。 該測試方法詳細介紹了去除和測量潮濕表面上發現的有機污染物的方法。

簡而言之，該測試方法還可用於評估各種洗滌或清潔過程的有效性。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI E49.8 半導體製造設備中高純和超高純氣體分配系統指南
• SEMI F20 通用、高純度和超高純度半導體製造應用中使用的組件的 316L 不銹鋼棒材、鍛件、擠壓型材、板材和管材規範

有機污染物是指碳基化學物質，例如有機溶劑、殺蟲劑、石油基廢棄物、木材以及氣態或液態的揮發性化合物。有機污染物通常會對環境造成負面影響。土壤、水、空氣以及有時食物中發現的微量有機污染物殘留被認為對人類和環境健康有害。氣態或液態的有機污染物可能包括溶劑、化學前驅物和中間體，以及石油化合物形式的揮發性有機化合物（VOCs）。

在為各行業企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，我們的組織還憑藉訓練有素的專家人員和先進的技術設備，在SEMI F114標準範圍內提供超高純化學品分配系統和組件濕表面有機污染物測定的測試服務。