用於氣體分配系統的壓力傳感器的 SEMI F113 測試方法

在 SEMI F113 標準中，在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃的框架內製定，其中包括為世界各地的半導體、集成電路、晶體管、二極管和平板顯示器等行業帶來利益的活動, 它用於半導體加工的氣體分配系統。描述了一種電子壓力傳感器的測試方法。

所描述的測試方法用於測試洩漏完整性、預熱時間、電壓準確度、不准確度、線性度、重複性、滯後性、再現性、熱係數、偏差、加速生命週期和壓力傳感器的極限壓力，全壓力範圍為 2757.9或更少在氣體分配系統中。包括程序。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI C59 氮氣的規格和指南
• SEMI E27 質量流量控制器和質量流量計線性指南
• SEMI E28 質量流量控制器壓力規格手冊
• SEMI E49 子組件和最終組件的高純和超高純管道性能指南
• SEMI E56 測定熱質量流量控制器的準確度、線性度、重複性、短期再現性、滯後和死區的測試方法
• SEMI E89 測量系統分析 (MSA) 手冊
• SEMI F1 高純度氣體管道系統和組件的洩漏完整性規範
• SEMI F62 從環境和氣體溫度影響確定質量流量控制器性能特性的測試方法

能源技術依賴壓力感測器來建構可靠的能源系統。壓力感測器是沼氣、天然氣等能源的理想解決方案。這些能源需要進行壓力測量，以確保其安全可靠。通常需要監測氣體壓力的行業是那些擁有複雜系統的行業，因為即使是最小的壓力誤差也可能導致災難性的後果。

我們的組織還為 SEMI F113 標準範圍內的氣體分配系統中使用的壓力傳感器提供測試服務，擁有訓練有素的專家員工和先進的技術設備，在它為各種企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中部門。