SEMI F72Auger 測試方法，用於鈍化 316L 不銹鋼部件濕表面的電子光譜 (AES) 測試

SEMI F72 標準是根據稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃制定的，其目的是描述一種測試方法，用於表徵考慮安裝在高純度氣體分配系統中的鈍化 316L 不銹鋼部件的表面成分。 該測試方法旨在應用於不銹鋼管道、配件、閥門和其他部件的潮濕表面，作為鈍化效果的衡量標準。 鈍化過程是使用除鏽酸後對鐵件進行的中和過程。

該測試方法的目的是定義一組通用的儀器參數和條件，以便在富鉻鈍化氧化物層內獲得可重複的測量結果。 該測試方法旨在表徵不銹鋼表面富鉻氧化物層的成分和厚度，並檢測管道、配件、閥門和其他部件的表面污染。 該方法涉及通過俄歇電子能譜（AES）檢測和測量表面元素成分。 該測試方法還描述了從表面延伸穿過氧化物層並進入基體金屬的鉻、鐵、鎳、氧和碳的深度成分分佈的測試方法。 該測量提供了有關整個鈍化區域的氧化物厚度和鉻富集度的信息。

使用俄歇電子能譜 (AES)，樣品受到高能電子的轟擊，一些電子從目標原子上被去除，原子被電離。 由於電離原子不穩定，來自外層軌道的電子填補了內層軌道的電子空位。 該方法是一種非常強大的圖像分析技術。

在製定本標準時，參考了以下SEMI標準：

• SEMI C57 氬氣規範
• SEMI C59 氮氣規範

在為各行業企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中，我們的組織還提供72L不銹鋼部件濕表面氧化層評估的測試服務，其測試方法為SEMI F316標準範圍內的俄歇電子能譜（AES）鈍化，擁有訓練有素的專家人員和先進的技術設備。