SEMI F74 用於氣體分配系統的金屬墊圈設計的性能和評估的測試方法

SEMI F74 用於氣體分配系統的金屬墊圈設計的性能和評估的測試方法

SEMI F74 標準是在國際半導體設備和材料 (SEMI) 國際標準計劃的框架內開發的,描述了一種用於評估氣體分配系統中使用的金屬密封設計的測試方法。 該測試方法涵蓋表面安裝氣體系統和傳統金屬表面密封接頭系統。

SEMI F74 用於氣體分配系統的金屬墊圈設計的性能和評估的測試方法

本標準中描述的測試方法適用於傳統管道式氣體系統中使用的接頭密封件以及模塊和組件之間表面貼裝氣體系統中使用的基板。 該標準不解決其使用的安全問題(如果有)。 本標準的使用者有責任在實施之前建立適當的安全和健康實踐並確定監管限制。 同時,該測試方法沒有為應用提供足夠詳細的信息。

這裡提到的測試方法在某些情況下是破壞性的。 因此,需要多個樣本來完成所有可行的測試而不會使後續測試無效,並且必須仔細規劃測試的順序。

所有部件必須滿足製造商在測試前設定和檢查的尺寸、縮放表面塗層和類似質量要求。

表面安裝連接方法和系統設計會影響外部負載測試,即振動、衝擊和類似測試。 墊片的製造和包裝必須符合 100 級類型的應用。 使用墊圈時必須小心,以符合製造商的規格。

金屬密封件用於高壓應用,例如石油和天然氣供應發電。 它們還用於煉油廠的閥門和管道、組件以及其他加工工業。 當施加壓力時,這些墊圈提供密封。

在製定本標準時,參考了以下SEMI標準:

  • SEMI E49 高純度和超高純度管道性能子組件和最終組件指南
  • 高純度氣體管道系統和組件的 SEMI F1 洩漏完整性規範

在為各個行業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中,我們的組織還提供 SEMI F74 標準範圍內用於氣體分配系統的金屬墊片設計的性能和評估測試服務,其訓練有素的專家人員和先進的技術設備。

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