確定壓力對 SEMI F64 質量流量控制器的演示和實際流量的影響的測試方法

SEMI F 64 是在國際半導體設備與材料協會 (SEMI) 的國際標準項目框架下制定的，該項目涵蓋的各項活動惠及全球半導體、集成電路、晶體管、二極管和平板顯示器等行業。 SEMI F 64定義了一種用於表徵擬安裝在燃氣分配系統中的質量流量控制器的測試方法。此測試方法用於確定瞬態和穩態進出口壓力條件對質量流量控制器性能的影響。

該測試方法為製造商和用戶之間關於質量流量控制器壓力影響的測試和解釋的溝通提供了共同基礎。

通過這種測試方法，可以確定上游（入口）和下游（流出）瞬態壓力對指定流量和實際流量的影響。 該測試方法給出了實際出口流量與受穩態入口壓力影響的指定流量和質量流量控制器設定點的結果。 該方法適用於最大流量範圍達 1000 sccm（標準立方厘米每分鐘）的質量流量控制器。

壓力的增加導致氣體被壓縮。 氣體具有較高的密度並佔據較小的體積。 換句話說，如果一定質量的氣體在流動，其體積就較小。 由於相同質量的氣體流經同一管道，壓縮氣體的速度降低。

在氣體應用中，氣體壓力波動會影響氣體的速度，從而顯著影響氣體流量測量儀器。

本質上，流量是單位時間空氣輸出量的量度。 速度是指單位時間內空氣移動的速度。 壓力是施加到某個區域的力的量度。

我們的組織為各個行業的企業提供眾多測試、測量、分析和評估研究，其中還包括用於確定壓力對實際流量影響的測試服務，並針對 SEMI F64 標準範圍內的質量流量控制裝置進行了展示擁有訓練有素的專家員工和先進的技術設備。