
在稱為國際半導體設備的國際標準計劃框架內製定的 SEMI F81 標準中,在半導體製造應用中的液體或氣體流體分配系統中,對不銹鋼和其他耐腐蝕金屬和合金的鎢極氣體保護 (GTA) 焊接進行目視檢查和材料 (SEMI). 和驗收標準。 這些標準旨在確保焊縫具有足夠的質量,以提供必要的系統純度、焊縫完整性和焊縫強度,以用於半導體製造應用。
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SEMI F81 標準描述了流體分配系統中不銹鋼和其他耐腐蝕金屬和合金的 GTA(氣體鎢極電弧)自生對接焊縫的檢查和驗收標準。 流體分配系統包括管道、管件、閥門、子組件和包含和分配流體的組件。
氣體鎢極氣體 (GTA) 焊是一種電弧焊方法,它使用非消耗性鎢電極來產生焊縫。 使用氬氣或氦氣等惰性保護氣體保護焊接區和電極免受氧化或其他大氣污染。 在此過程中通常會使用填充金屬,但某些焊縫(稱為自生焊縫或熔焊縫)並不需要它。
由於高質量的結果,鎢極氣體保護焊工藝是一種廣泛用於連接相似和不同金屬的工藝。 熱輸入和速度是該工藝的最大優勢,憑藉這些優勢,它被用於各種工業應用中的塗層、根部接頭焊接和填充焊接。
在製定本標準時,參考了以下SEMI標準:
在為各個行業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估研究中,我們的組織以其訓練有素的專家員工和先進的技術設備,對流體分配中的氣體鎢極電弧 (GTA) 源進行目視檢查和檢查SEMI F81標準範圍內的半導體製造應用系統,還提供驗收測試服務。
