測定 SEMI F80 氣體分配系統的氣體交換/排放效率的試驗方法

SEMI F80 標準是在稱為國際半導體設備和材料 (SEMI) 的國際標準計劃的框架內製定的，該計劃包括為全球半導體、集成電路、晶體管、二極管和平板顯示器等行業帶來利益的活動，SEMI FXNUMX 標准在技術上獲得批准由氣體全球技術委員會制定。是一個標準。 本標準描述了確定氣體分配系統的氣體交換/清潔效率的測試方法。 該標準涵蓋了傳統的金屬面密封和表面安裝的氣體分配系統。 該測試方法適用於半導體製造廠和類似研發領域使用的所有高純氣體分配系統。

在引入工藝氣體之前，從高純度氣體管道系統的所有部分去除環境空氣是很重要的。 這是必要的，原因有二：

• 剩餘的空氣會降低工藝氣體的純度。 這適用於任何工藝氣體，無論是否有害。
• 空氣中含有氧氣和水蒸氣，一些特殊的氣體會與氧氣發生反應，產生的反應產物會造成工藝污染和歧管組件故障。 其他氣體在與水蒸氣接觸時會形成強腐蝕性產物並損壞管道系統。 設備腐蝕也是污染的一個原因。

在暴露於環境空氣之前，必須從管道系統的任何部分去除工藝氣體。 原因如下：

• 許多特種氣體具有劇毒，對工人的健康構成嚴重危害。
• 一些氣體高度易燃甚至自燃，具有火災或爆炸危險。
• 另一方面，有些氣體在與空氣中的水蒸氣接觸時會變得具有很強的腐蝕性，從而對設備和設施造成損害。

在我們為各行各業的企業提供的眾多測試、測量、分析和評估中，憑藉我們訓練有素的專家人員和先進的技術設備，我們還提供測試服務，以確定符合 SEMI F80 標準的氣體分配系統的氣體交換/排放效率。