
SEMI F100 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划的框架内开发的,它提供了一种测试方法,用于验证公制全氟烷氧基 (PFA) 管的每个隔膜阀的兼容性。 但是,这种测试方法是无效的,因为不满足保持当前状态的条件。 此类无效标准或安全指南可从 SEMI 检索并保持有效使用。 本标准规定了公制全氟烷氧基 (PFA) 管的隔膜阀的最小流量系数的开口。 本试验方法说明了如何通过与相应的开度进行比较来验证隔膜阀的流量系数。

这些隔膜阀用于半导体和平板显示器制造的化学品分配系统。 阀门由聚四氟乙烯或全氟烷氧基等材料制成,具有高耐腐蚀性和对流体的低污染。 这些阀门可承受高达 0,2 兆帕的背压。 截止阀的作用是从全开切换到全关。
全氟烷氧基 (PFA) 管道是许多行业以广泛多样的方式使用的一种管道。 这些管包含结合了聚四氟乙烯和氟化乙丙烯管的优点的组合,允许用户利用两者的特性。
PFA管道是一种极其坚硬的材料,在某些情况下甚至可以替代不锈钢管道。由于其诸多优势,PFA管道深受企业青睐。这种管道系统能够承受高温高压,并且耐化学腐蚀。
全氟烷氧基 (PFA) 管道是移动元件的首选材料。 其柔韧性和抗裂性和抗断裂性使其非常适合机械中的运动部件。
在它为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中,我们组织还提供 SEMI F100 标准范围内公制 PFA 管隔膜阀最小流量系数的合规性测试服务,与其训练有素的专家员工和先进的技术设备。
