SEMI F71 气体分配系统温度循环的测试方法

SEMI F71 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划框架内制定的，该计划包括为全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业带来利益的活动，SEMI FXNUMX 标准在技术上获得批准由气体全球技术委员会制定。是一个标准。 本标准定义的测试方法适用于安装在半导体制造设备中的气体分配系统。

本标准并非旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。 本标准的用户有责任在使用前建立适当的安全和健康实践，并确定限制的适用性。

在低压气体分配系统中，主管道和服务管线中的气体压力与输送到用户设备的气体压力基本相同。 在这样的系统中，在单独的服务线路上不需要服务调节器。 高压气体分配管道系统在比提供给用户的标准工作压力更高的压力下运行。 在这样的系统中，每条服务管线上都需要一个服务调节器来控制压力。

不同的外部传热模式取决于管道流体压力的影响和响应年度环境温度循环的温度计算。 在传热模型中，环境温度循环由土壤表面温度表示，它具有时间周期函数。 然而，结果对管道压力的外部传热模式的选择并不敏感。 对于通常代表天然气出口管道的基本情况，对计算的气体温度的影响是有限的。

气体分配系统中的许多材料会根据环境因素发生变化。 对环境条件的抵抗力测试旨在检测这些变化。

气体分配系统必须以每种应用所需的压力和流速安全有效地将气体从高压源输送到最终过程。

我们的组织还提供 SEMI F71 标准范围内的气体分配系统温度循环测试服务，拥有训练有素的专家人员和先进的技术设备，在它为各种企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中部门。