SEMI F112 通过腔环光谱法 (CRDS) 测定表面安装和常规气体分配系统的水分干燥特性的测试方法

SEMI F112 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划框架内制定的，重点是确定集成气体分配系统和常规气体表面贴装的水分干燥特性（即可提取水分的量）。使用空间环光谱 (CRDS) 分析仪的配电系统。定义了一种测试方法

该测试方法的结果用于基于设计的气体分配系统的定性排序。 它也可以被具有足够知识的用户用作气体分配系统行为的数值模拟的输入。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI C15 ppm 和 ppb 水分标准的测试方法
• SEMI F1 高纯度气体管道系统和组件的泄漏完整性规范

空间环光谱 (CRDS) 是一种众所周知的技术，用于监测半导体和 LED 制造行业以及工业气体和化学品生产、运输和配送中高纯度工艺气体中的水分。 这种准确且具有成本效益的水分监测技术的优势正在吸引 SEMI 等行业标准发布者的关注。

SEMI F112 标准中提出的测试方法允许用户根据其设计对气体分配系统进行定性评估和排名。 本标准涵盖以下主要应用领域：

• 表面安装的气体分配系统
• 传统的气体分配系统
• 新管道系统的鉴定
• 新气体分配设计的认证

一般而言，SEMI 标准是供应商与客户之间的自愿技术协议，旨在通过稳定供应来提高产品质量和可靠性。 这些标准确保产品的全球兼容性，以应对提高生产力的挑战，同时提供全球商业机会。

在 SEMI F112 标准范围内，我们的组织在为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，拥有训练有素的专家员工和先进的技术设备，表面贴装和具有空间环光谱 (CRDS) 的常规气体分配系统。它还提供用于测定