用于气体分配系统的压力传感器的 SEMI F113 测试方法

在 SEMI F113 标准中，在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划的框架内制定，其中包括为世界各地的半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业带来利益的活动, 它用于半导体加工的气体分配系统。描述了一种电子压力传感器的测试方法。

所描述的测试方法用于测试压力传感器的泄漏完整性、预热时间、电压准确度、不准确度、线性度、重复性、滞后、再现性、热系数、偏差、加速的生命周期和压力传感器的耐压，全压力范围为 2757.9或更少在气体分配系统中。包括程序。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI C59 氮气的规格和指南
• SEMI E27 质量流量控制器和质量流量计线性指南
• SEMI E28 质量流量控制器压力规格手册
• SEMI E49 子组件和最终组件的高纯和超高纯管道性能指南
• SEMI E56 确定热质量流量控制器的准确度、线性度、重复性、短期再现性、滞后和死区的测试方法
• SEMI E89 测量系统分析 (MSA) 手册
• SEMI F1 高纯度气体管道系统和组件的泄漏完整性规范
• SEMI F62 从环境和气体温度影响确定质量流量控制器性能特性的测试方法

能源技术依赖压力传感器来构建可靠的能源系统。压力传感器是沼气、天然气等能源的理想解决方案。这些能源需要进行压力测量，以确保其安全可靠。通常需要监测气体压力的行业是那些拥有复杂系统的行业，因为即使是最小的压力误差也可能导致灾难性的后果。

我们的组织还为 SEMI F113 标准范围内的气体分配系统中使用的压力传感器提供测试服务，拥有训练有素的专家员工和先进的技术设备，在它为各种企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中部门。