测定 SEMI F80 气体分配系统的气体交换/排放效率的试验方法

SEMI F80 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划的框架内制定的，该计划包括为全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业带来利益的活动，SEMI FXNUMX 标准在技术上获得批准由气体全球技术委员会制定。是一个标准。 本标准描述了确定气体分配系统的气体交换/清洁效率的测试方法。 该标准涵盖了传统的金属面密封和表面安装的气体分配系统。 该测试方法适用于半导体制造厂和类似研发领域使用的所有高纯气体分配系统。

在引入工艺气体之前，从高纯度气体管道系统的所有部分去除环境空气是很重要的。 这是必要的，原因有二：

• 剩余的空气会降低工艺气体的纯度。 这适用于任何工艺气体，无论是否有害。
• 空气中含有氧气和水蒸气，一些特殊的气体会与氧气发生反应，产生的反应产物会造成工艺污染和歧管组件故障。 其他气体在与水蒸气接触时会形成强腐蚀性产物并损坏管道系统。 设备腐蚀也是污染的一个原因。

在暴露于环境空气之前，必须从管道系统的任何部分去除工艺气体。 原因如下：

• 许多特种气体具有剧毒，对工人的健康构成严重危害。
• 一些气体高度易燃甚至自燃，具有火灾或爆炸危险。
• 另一方面，有些气体在与空气中的水蒸气接触时会变得具有很强的腐蚀性，从而对设备和设施造成损害。

在我们为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估中，凭借我们训练有素的专家人员和先进的技术设备，我们还提供测试服务，以确定符合 SEMI F80 标准的气体分配系统的气体交换/排放效率。