SEMI F114 测定超高纯化学品输送系统和组件湿表面有机污染物的测试方法

在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划框架内制定的 SEMI F114 标准定义了一种测试方法，用于测定超高纯度 (UHP) 化学品输送系统和组件的湿表面上的有机化合物。

本试验方法适用于超高纯度化学品输送系统和部件。 测试的例子包括阀门、调节器、过滤器和质量流量控制器、管道、焊接配件和面密封配件。 所描述的测试方法也用于检测来自装配或生产区域的污染。 该测试方法详细说明了去除和测量湿表面上发现的有机污染物的方法。

简而言之，该测试方法还可用于评估各种洗涤或清洁过程的有效性。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI E49.8 半导体制造设备中高纯和超高纯气体分配系统指南
• SEMI F20 用于通用、高纯度和超高纯度半导体制造应用的部件的 316L 不锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管材的规范

有机污染物是指碳基化学物质，例如有机溶剂、杀虫剂、石油基废弃物、木材以及气态或液态的挥发性化合物。有机污染物通常会对环境造成负面影响。土壤、水、空气以及有时食物中发现的痕量有机污染物残留被认为对人类和环境健康有害。气态或液态的有机污染物可能包括溶剂、化学前体和中间体，以及石油化合物形式的挥发性有机化合物（VOCs）。

我们的组织拥有训练有素的专业人员和先进的技术设备，在众多的测试、测量中，提供SEMI F114标准范围内超高纯化学品分配系统和组件湿表面有机污染物的检测服务。它为各个部门的企业提供分析和评估研究。还提供。