确定 SEMI F70 气体分配系统的微粒贡献的测试方法

SEMI F70 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划下开发的，是气体全球技术委员会在技术上批准的标准。 本标准的目的是提供一种标准方法和测试方法，用于测量气体分配系统的颗粒添加剂性能，根据添加到流经系统的气体中的颗粒数量。 该标准化程序旨在被气体分配系统供应商、设备供应商和最终用户广泛使用。

所讨论的测试方法适用于半导体制造设备中使用的传统表面贴装气体分配系统。 在测试过程中，考虑到本标准所附的 SEMI F70.1-0320 标准（通过冲击测试确定气体分配系统及其组件的颗粒贡献的测试方法）。

设计气体分配系统时最重要的考虑因素之一是每个使用点所需的气体纯度水平。 集中式系统简化了气体纯度的保持。 安装材料的选择必须始终一致。 例如，如果使用研究级气体，则应使用所有不锈钢结构和无隔膜截止阀，以防止气流受到污染。 一般来说，几乎所有应用都可以用三个纯度级别来描述：通用纯度、高纯度和超高纯度。

SEMI 标准和安全实践并未声称解决了所有使用它们的安全问题。 标准的使用者有责任建立适当的安全和健康实践，并确定使用限制的适用性。

简而言之，SEMI F70 标准的目的是提供一种方法，根据添加到流经系统的气体中的颗粒数量来测量气体分配系统的颗粒添加剂性能。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI C57 氩气规格
• SEMI C59 氮气规范

在它为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，我们的组织还提供测试服务，以确定 SEMI F70 标准范围内的气体分配系统的颗粒贡献，其训练有素和专业的员工和先进的技术设备。