确定 SEMI F68 澄清器效率的测试方法

SEMI F68 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划下开发的，其目的是定义一种测试方法，用于确定净化器从基质气体中去除活性气态杂质的有效性。 也就是说，目的是确定气体净化器去除某种类型污染的有效性。

效率测试是通过将 ppm（百万分之一）水平的气态杂质添加到纯基质气体中并监控活性杂质类型的测试净化器的输出来执行的。 这些测试是在供应商推荐的流量、工作温度和压力下进行的。 所描述的测试方法适用于大型澄清池。

为了应对某些限制，澄清器的正确操作是必不可少的。 由于维护或操作限制等各种因素，澄清器的效率并非恒定不变。 澄清池的标称分离效率可能为 90%，而实际上效率可能在 20% 到 60% 之间。 如果澄清器的效率未知，则不需要的燃料有进入主发动机的风险，因此损坏的风险很高。

细小颗粒会损坏燃油喷射部件，腐蚀喷油嘴，并扰乱喷雾模式，导致燃油分布不均。为了降低高浓度细颗粒燃油进一步扩散的可能性，采用了沉淀、净化和过滤相结合的工艺。

一般来说，以下三种情况会触发澄清池效率监控：

• 当实验室分析结果显示燃油中的细颗粒含量极高时
• 当推进系统遇到操作问题时
• 作为定期维护程序的一部分

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI E29 质量流量计和质量流量控制器中使用的标准压力、温度、密度和流量单位指南
• SEMI F6 危险气体管道系统二级密封手册
• SEMI F22 气体分配系统手册

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