SEMI F72Auger 测试方法，用于钝化 316L 不锈钢部件湿表面的电子光谱 (AES) 测试

根据称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划开发，SEMI F72 标准的目的是描述一种测试方法，用于表征考虑安装在高纯度气体分配系统中的钝化 316L 不锈钢部件的表面成分. 该测试方法旨在应用于不锈钢管、管件、阀门和其他部件的潮湿表面，作为钝化效果的衡量标准。 钝化过程是铁使用除锈酸后的中和过程。

该测试方法的目的是定义一组通用的仪器参数和条件，这些参数和条件将在富铬钝化氧化层内获得可重复的测量结果。 本测试方法旨在表征不锈钢表面富铬氧化层的成分和厚度，并检测管道、配件、阀门和其他部件的表面污染。 该方法涉及通过俄歇电子能谱 (AES) 检测和测量表面元素组成。 本测试方法还描述了铬、铁、镍、氧和碳的深度成分分布的测试方法，这些成分从表面穿过氧化层进入基体金属。 该测量提供有关整个钝化区域的氧化物厚度和铬富集的信息。

使用俄歇电子能谱 (AES)，样品受到高能电子的轰击，一些电子从目标原子中去除，原子被电离。 由于电离原子不稳定，来自外轨道的电子填补了内轨道的电子空位。 这种方法是一种非常强大的图像分析技术。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI C57 氩气规格
• SEMI C59 氮气规范

我们的组织，在其为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，拥有训练有素的专家员工和先进的技术设备，以及 SEMI 范围内的俄歇电子能谱 (AES) 测试方法F72标准是钝化316L不锈钢部件湿表面的氧化物测试方法，同时也提供涂层评价的测试服务。