SEMI F111 设备风扇过滤器装置 (EFFU) 颗粒去除测试方法

SEMI F111 标准是在名为国际半导体设备和材料协会 (SEMI) 的国际标准计划框架内制定的，该计划涵盖的活动惠及全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业。该标准定义了一种测试方法，用于测量安装在设备内部的设备风扇过滤器单元 (EFFU) 的颗粒去除能力。

由于设备内部安装了风扇微粒过滤器、风扇和电机组件，这些部件的完整性对设备风扇过滤器单元的性能非常重要。 因此，常规的颗粒过滤器颗粒去除测试方法适用于评估设备风扇过滤单元的颗粒去除性能。

本标准中描述的测试方法描述了一种评估方法，用于安装在密闭空间中的设备风扇过滤器单元，以去除工艺设备内产生的颗粒。 设备风机过滤单元的颗粒去除性能一般取决于过滤介质的性能和空气流速。 要了解设备风扇过滤器单元的性能，需要同时考虑过滤介质规格、空气流量和设备风扇过滤器单元部件的完整性。 简而言之，该测试方法旨在展示设备风扇过滤器单元的系统性能。

设备风机过滤机组是一种机动空气过滤设备。 它用于去除环境空气中的有害空气传播颗粒，并向洁净室、实验室、医疗设施或微环境提供净化空气。 这些装置通常包含自己的过滤器、HEPA 过滤器和内部控制的风扇空气分配。 设备风扇过滤器单元是一种灵活且经济的解决方案，用于从单向通风设备中去除微粒。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI F38 使用点气体过滤器效率鉴定的测试方法

在它为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，我们的组织还提供 SEMI F111 标准范围内的设备风扇过滤器单元 (EFFU) 颗粒清洁测试服务，其训练有素的专家员工和先进的技术设备。