SEMI F69 气体分配系统的运输和冲击测试的测试方法

SEMI F69 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划下制定的，是气体全球技术委员会在技术上批准的标准。 本标准提供了通过振动和冲击测试来表征气体分配系统机械完整性的测试方法。 这里推荐的测试方法包括用于半导体加工的气体分配系统（包括传统和表面贴装）的振动（传输模拟）和冲击测试。

SEMI F69 标准中定义的测试方法适用于未包装运输的气体分配系统。 具体而言，测试方法适用于组装和互连的气体分配部件及其相关的安装面板，有或没有金属板屏蔽。

就本标准而言，运输振动和模拟预期在使用的振动水平上高于正常水平。 因此，运输模拟测试被认为是可以接受的，以评估气体分配系统的运输和生命周期振动应力的足够机械完整性。

冲击测试的目的是对在开箱、安装或现场使用过程中因冲击而导致的设备故障提供更详细的评估。

在成功完成本标准中推荐的测试后，它代表了气体分配系统架构、设计和组装技术的推荐机械完整性。

当大量使用气体时，集中式气体分配系统是实际必需的。 精心设计的配电系统可降低运营成本、提高生产率并提高安全性。 中央系统允许将所有钢瓶整合到一个存储位置。 在此应用中，气体根据其类型进行分离以提高安全性。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI F1 高纯度气体管道系统和组件的泄漏完整性规范

在它为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，我们的组织还提供 SEMI F69 标准范围内气体分配系统的传输和冲击测试的测试服务，其训练有素的专家员工和先进的技术设备。