
在称为国际半导体设备的国际标准计划框架内制定的 SEMI F81 标准中,在半导体制造应用中的液体或气体流体分配系统中,对不锈钢和其他耐腐蚀金属和合金的钨极气体保护 (GTA) 焊接进行目视检查和材料 (SEMI). 和验收标准。 这些标准旨在确保焊缝具有足够的质量,以提供必要的系统纯度、焊缝完整性和焊缝强度,以用于半导体制造应用。
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SEMI F81 标准描述了流体分配系统中不锈钢和其他耐腐蚀金属和合金的 GTA(气体钨极电弧)自生对接焊缝的检验和验收标准。 流体分配系统包括管道、管件、阀门、子组件和包含和分配流体的组件。
气体钨极气体 (GTA) 焊是一种电弧焊方法,它使用非消耗性钨电极来产生焊缝。 使用氩气或氦气等惰性保护气体保护焊接区和电极免受氧化或其他大气污染。 在此过程中通常使用填充金属,但某些焊缝(称为自熔焊或熔焊)不需要它。
由于高质量的结果,钨极气体保护焊工艺是一种广泛用于连接相似和不同金属的工艺。 热输入和速度是该工艺的最大优势,凭借这些优势,它被用于各种工业应用中的涂层、根部接头焊接和填充焊接。
在制定本标准时,参考了以下SEMI标准:
在它为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中,我们的组织以其训练有素的专家员工和先进的技术设备,提供流体分配中气体钨极电弧 (GTA) 源的目视检查和检查SEMI F81标准范围内的半导体制造应用系统,还提供验收测试服务。
