SEMI F115 测定超高纯化学品输送系统和组件湿表面金属元素的测试方法

SEMI F115 标准是在国际半导体设备和材料 (SEMI) 计划的框架内制定的，该计划涵盖的活动惠及全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业。该标准定义了一种测试方法，用于识别超高纯度 (UHP) 化学输送系统和组件的湿润表面上存在的金属元素。

本试验方法适用于超高纯度化学品输送系统和部件。 测试示例包括阀门、调节器、过滤器、质量流量控制器、管道、焊接组件和面密封组件。 该测试方法也可用于检测组装或制造现场的污染。

上述标准详细说明了用超纯水在湿润表面上提取和测量可去除金属元素的方法。 该测试方法还可用于评估各种洗涤或清洁过程的有效性。

超高纯度气体广泛用于半导体行业。 超高纯度通常定义为任何挥发性分子（例如杂质水平或水分）的浓度低于 100 ppb。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI E49.2 用于半导体设备液体化学系统的聚合物基团鉴定指南
• SEMI E49.8 半导体制造设备中高纯和超高纯气体分配系统指南
• SEMI F20 用于通用、高纯度和超高纯度半导体制造应用的部件的 316L 不锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管材的规范
• SEMI F63 用于半导体加工的超纯水导管

我们公司在为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，拥有训练有素的专家员工和先进的技术设备，提供用于测定超高纯度湿表面金属元素的测试服务SEMI F115 标准范围内的化学品分配系统和组件。也给出了。