使用 SEMI F106 氦气检漏仪确定气体分配系统泄漏完整性的测试方法

SEMI F106 标准是在名为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划的框架内制定的，该计划包括为全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业带来利益的活动，SEMI FXNUMX 标准在技术上获得批准由气体全球技术委员会制定。是一个标准。 本标准描述了检测气体分配系统内部氦气泄漏的测试方法。 该标准涵盖了传统的金属面密封和表面安装的气体分配系统。

所提出的测试方法适用于半导体制造厂和类似研发领域中使用的所有类型的高纯度气体分配系统。

氦气泄漏测试用于检测使用氦气作为示踪气体的不同类型的封闭或密封系统中可能存在的泄漏。 通过该测试，泄漏（泄漏）浓度被测量并确定为泄漏率。

使其成为泄漏测试理想的氦气的主要关键品质是：

• 氦气是最小的分子之一，可以可靠、快速地穿过路径。
• 氦气是一种惰性气体，不会与被测组件发生相互作用，因此可以安全使用。
• 由于氦气在大气中的可用性有限，低于 5 ppm，因此氦气的设备噪声本质上很低，因此可提供极其准确的报告。

简而言之，基于氦气的测试方法是一种高度灵敏的泄漏测试技术，配备了其他泄漏测试方法无法检测到的极小泄漏。 该测试期间使用高真空技术。 提供了非常低的泄漏测试阈值，这种灵敏度水平允许在封装组件之间进行无与伦比的比较。

我们的组织在为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，还提供测试服务，以确定 SEMI F106 标准范围内带有氦检漏仪的气体分配系统的泄漏完整性，以及其训练有素的专家员工和先进的技术设备。