SEMI F104 用于评估超纯水和液体化学品输送系统中使用的组件的微粒贡献的测试方法

SEMI F104 标准是在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划的框架内制定的，它描述了要求并提供了测试方法，以评估和比较超纯水液体流中的组件在颗粒贡献方面。 该标准定义了两种评估颗粒贡献的测试方法：漂洗测试方法和动态测试方法。

• 漂洗测试方法评估部件处于静止状态时在洗涤模式下的性能，即被测部件中没有主动移动的部件。 使用此测试方法，可以获得使颗粒水平达到规范所需的洗涤量的指示。
• 在动态测试方法中，在组件运行期间评估性能，并获得由于动态运行条件导致的稳态粒子贡献的指示。

这两种测试方法都适用于用于半导体制造工具和辅助设备的液体化学和超纯水系统组件。

本标准中描述的测试方法是在使用超纯水作为测试介质时测量组件的颗粒贡献的测试。 就本标准而言，超纯水必须满足标准中列出的最低要求。 在应用这些测试方法时，使用液体光学粒子测量仪来测量性能。 该设备通常用作粒子计数器，以检测和监测某些清洁环境（包括空气、水和化学品）中的微粒污染。 粒子计数器用于工业技术，如电子元件和组件、医药产品和医疗设备以及石油和天然气，以支持清洁生产实践。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI E49 子组件和最终组件的高纯度和超高纯度管道性能指南
• SEMI F57 超纯水和液体化学品输送系统中使用的聚合物成分规范

在我们为各行各业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估中，我们还利用训练有素的专家人员和先进的技术设备，根据 SEMI F104 标准提供超纯水和液体化学品分配系统组件中颗粒含量评估的测试服务。