确定压力对 SEMI F64 质量流量控制器的演示和实际流量的影响的测试方法

SEMI F 64 是在国际半导体设备与材料协会 (SEMI) 的国际标准项目框架下制定的，该项目涵盖的各项活动惠及全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业。SEMI F 64定义了一种用于表征拟安装在燃气分配系统中的质量流量控制器的测试方法。该测试方法用于确定瞬态和稳态进出口压力条件对质量流量控制器性能的影响。

该测试方法为制造商和用户之间就质量流量控制器压力影响的测试和解释进行沟通提供了共同基础。

使用此测试方法，可以确定上游（入口）和下游（流出）瞬态压力对指定流量和实际流量的影响。 该测试方法给出了实际出口流量与受稳态入口压力影响的指定流量和质量流量控制器设定点的结果。 该方法适用于最大流量范围可达 1000 sccm（标准立方厘米每分钟）的质量流量控制器。

压力的增加导致气体被压缩。 气体具有较高的密度并占据较小的体积。 换句话说，如果一定质量的气体在流动，它的体积就会变小。 由于相同质量的气体流经同一管道，压缩气体的速度降低。

在气体应用中，气体压力波动会影响气体的速度，从而显着影响气体流量测量仪器。

从本质上讲，流量是单位时间内空气输出量的量度。 速度是指单位时间内空气移动的速度。 压力是施加到一个区域的力的量度。

在我们的组织为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，凭借其训练有素的专家员工和先进的技术设备，测试服务用于确定对实际流量的压力影响并为大众展示SEMI F64 标准范围内的流量控制设备。