用于腐蚀性气体系统的不锈钢表面电化学临界点蚀温度测试的 SEMI F77 测试方法

SEMI F77 标准是在国际半导体设备和材料 (SEMI) 标准的框架下制定的，该标准涵盖了惠及全球半导体、集成电路、晶体管、二极管和平板显示器等行业的各项活动。SEMI F77 标准定义了一种测试方法，用于测定拟用于半导体制造腐蚀性气体输送系统的元件湿表面的抗点蚀性能。该测试方法是对美国材料与试验协会 (ASTM) 发布的 ASTM G150 标准（ASTM G150-18《不锈钢及相关合金电化学临界点蚀温度测试标准》）的改进。该标准旨在区分影响湿表面耐腐蚀性能的合金成分或工艺。SEMI F77 标准的详细信息包含在 ASTM G150 标准中，建议在应用此测试方法时参考 ASTM G150 标准。

SEMI F77 标准中描述的测试方法包括基于电化学临界点蚀温度的程序，用于对管道的润湿表面或用于腐蚀性气体系统的代表性成品表面的测试试样的耐点蚀性进行分级。 众所周知，点蚀是半导体气体分配系统中腐蚀失效的一种重要模式，尤其是在焊接并暴露于腐蚀性气体和湿气中的部件和管道中。

简而言之，SEMI F77 标准测试方法是对 ASTM G150 标准测试方法的改编，并描述了一种测试方法，用于对从供气系统组件（例如气瓶）切割的试样或湿表面部分进行改编。 这是湿浸法。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI F19 不锈钢部件润湿表面的表面状况规范

在它为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，我们的组织还提供测试服务，以确定 SEMI F77 标准范围内用于腐蚀性气体系统的不锈钢表面的电化学临界点蚀温度，与其训练有素的专家员工和先进的技术设备。