SEMI F74 用于气体分配系统的金属垫圈设计的性能和评估的测试方法

SEMI F74 用于气体分配系统的金属垫圈设计的性能和评估的测试方法

SEMI F74 标准在称为国际半导体设备和材料 (SEMI) 的国际标准计划的框架内开发,描述了一种用于评估气体分配系统中使用的金属密封设计的测试方法。 该测试方法涵盖了表面安装的气体系统和传统的金属表面密封接头系统。

SEMI F74 用于气体分配系统的金属垫圈设计的性能和评估的测试方法

本标准中描述的测试方法适用于传统管道式气体系统中使用的接头密封以及模块和组件之间的表面安装气体系统中使用的基板。 本标准不解决其使用的安全问题(如果有)。 本标准的用户有责任在实施之前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制。 同时,该测试方法没有为应用提供足够详细的信息。

这里提到的测试方法在某些情况下是破坏性的。 因此,需要多个样品才能完成所有可行的测试而不会使后续测试无效,并且必须仔细计划测试顺序。

在测试之前,所有组件都必须满足制造商设定和检查的尺寸、结垢表面涂层和类似的质量要求。

表面安装连接方法和系统设计会影响外部负载测试,即振动、冲击和类似测试。 必须为 100 类应用制造和包装垫圈。 使用垫圈时必须小心,以保持制造商的规格。

金属密封件用于高压应用,例如石油和天然气供应。 它们还用于阀门和管道、炼油厂的组件以及其他加工行业。 当施加压力时,这些垫圈提供密封。

在制定本标准时,参考了以下SEMI标准:

  • SEMI E49 高纯和超高纯管道性能子组件和最终组件指南
  • 高纯度气体管道系统和组件的 SEMI F1 泄漏完整性规范

在它为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中,我们的组织还为 SEMI F74 标准范围内的气体分配系统中使用的金属垫圈设计的性能和评估提供测试服务,其中包括训练有素的专业员工和先进的技术设备。

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